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CVD金刚石膜的产业化应用与目前存在的问题

CVD金刚石膜的产业化应用与目前存在的问题

摘要在863计助的大力支持下,我国CVD金刚石膜研究在工具、热沉和光学应用等方面都取得了十分显著的进展,不仅显著...

日期 2011-06-25   超硬新闻

多工位气相合成金刚石膜装置

名称多工位气相合成金刚石膜装置公开号2264191公开日1997.10.08主分类号C23C16/26

日期 2010-12-24   行业专利

一种制造电子元器件金属外壳用金刚石膜拉深模具

名称一种制造电子元器件金属外壳用金刚石膜拉深模具公开号2429278公开日2001.05.09主分类号B21D37/

一种气相生长金刚石膜的反应室

名称一种气相生长金刚石膜的反应室公开号2361640公开日2000.02.02主分类号C23C16/26

用于沉积大面积金刚石膜的灯丝排布固定装置

名称用于沉积大面积金刚石膜的灯丝排布固定装置公开号2325390公开日1999.06.23主分类号C04B41/00

日期 2010-12-22   行业专利

一种选域金刚石膜的制备方法

名称一种选域金刚石膜的制备方法公开号1364945公开日2002.08.21主分类号C23C16/04

日期 2010-12-22   行业专利

均匀热场阵列生长金刚石膜管的方法

名称均匀热场阵列生长金刚石膜管的方法公开号1355331公开日2002.06.26主分类号C23C16/27&nbs

日期 2010-12-21   行业专利

纳米金刚石粉预处理的大面积金刚石膜材料的生长工艺

名称纳米金刚石粉预处理的大面积金刚石膜材料的生长工艺公开号1275635公开日2000.12.06主分类号C23C1

日期 2010-12-15   行业专利

硅衬底上适于键合技术的金刚石膜制备工艺

名称硅衬底上适于键合技术的金刚石膜制备工艺公开号1272557公开日2000.11.08主分类号C23C16/27&

日期 2010-12-15   行业专利

一种金刚石膜的高效抛光加工方法

名称一种金刚石膜的高效抛光加工方法公开号1266111公开日2000.09.13主分类号C25F3/16

日期 2010-12-10   行业专利

纳米引晶法选择性生长金刚石膜的工艺

名称纳米引晶法选择性生长金刚石膜的工艺公开号1235206公开日1999.11.17主分类号C23C16/26&nb

日期 2010-12-10   行业专利

一种复合激光化学气相沉积金刚石膜的方法

名称一种复合激光化学气相沉积金刚石膜的方法公开号1221806公开日1999.07.07主分类号C23C16/26&

日期 2010-12-10   行业专利

为接受化学汽相淀积金刚石膜对硬质合金基质的处理

名称为接受化学汽相淀积金刚石膜对硬质合金基质的处理公开号1192789公开日1998.09.09主分类号C25F3/

单晶硅上大面积(100)取向的金刚石膜的生长方法

名称单晶硅上大面积(100)取向的金刚石膜的生长方法公开号1132267公开日1996.10.02主分类号C23C1

日期 2010-12-10   行业专利

金刚石膜上的薄层硅结构芯片材料及其制备方法

名称金刚石膜上的薄层硅结构芯片材料及其制备方法公开号1132408公开日1996.10.02主分类号H01L21/0

日期 2010-12-10   行业专利

形成金刚石膜的方法

名称形成金刚石膜的方法公开号1121963公开日1996.05.08主分类号C23C14/40

日期 2010-12-10   行业专利

一种激光化学气相沉积金刚石膜的方法

名称一种激光化学气相沉积金刚石膜的方法公开号1122378公开日1996.05.15主分类号C23C16/26&nb

金刚石膜的SOI集成电路芯片材料及其制作工艺

名称含金刚石膜的SOI集成电路芯片材料及其制作工艺公开号1109518公开日1995.10.04主分类号C30B25

日期 2010-12-10   行业专利

热阴极辉光等离子体化学相沉积制备金刚石膜的工艺

名称热阴极辉光等离子体化学相沉积制备金刚石膜的工艺公开号1107900公开日1995.09.06主分类号C23C16

日期 2010-12-10   行业专利

硬质合金工具刃口涂复金刚石膜的方法

名称一种在硬质合金工具刃口涂复金刚石膜的方法公开号1102220公开日1995.05.03主分类号C23C16/26

日期 2010-12-10   行业专利
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