用于沉积大面积金刚石膜的灯丝排布固定装置 _专利

用于沉积大面积金刚石膜的灯丝排布固定装置

关键词金刚石膜 , 灯丝排布 , 固定装置 |2010-12-22 00:00:00|行业专利|来源中国超硬材料网

摘要名称用于沉积大面积金刚石膜的灯丝排布固定装置公开号2325390公开日1999.06.23主分类号C04B41/00

名称	用于沉积大面积金刚石膜的灯丝排布固定装置
公开号	2325390	公开日	1999.06.23
主分类号	C04B41/00	分类号	C04B41/00
申请号	98214049.5
分案原申请号		申请日	1998.05.15
颁证日	1999.05.26	优先权
申请人	吉林大学	地址	130023吉林省长春市解放大路123号
发明人	吕宪义; 金曾孙; 姜志刚; 邹广田	国际申请
国际公布		进入国家日期
专利代理机构	吉林大学专利事务所	代理人	王恩远; 崔丽娟
摘要	本实用新型属沉积大面积金刚石膜用的灯丝排布固定装置。由支腿（３）和横在两支腿上的灯丝固定器（２）构成支架，支架内是空心连通的，直热灯丝（１）排布成栅状，绕过灯丝固定器（２）下底面联接弹簧（９）再挂在灯丝挂板（４）上。钨杆调节块（６）和调节螺钉（７）可使钨杆（８）在钨杆调节块的长孔内前后移动，本实用新型具有灯丝平整热场均匀、电接触良好、铜制的支架不粘附沉积物等特点，结构简单、使用方便、工作稳定、特别适合长时间使用制备大面积金刚石膜。

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