纳米金刚石粉预处理的大面积金刚石膜材料的生长工艺 _专利

纳米金刚石粉预处理的大面积金刚石膜材料的生长工艺

关键词纳米 , 金刚石粉 , 预处理 , 大面积 , 金刚石膜|2010-12-15 00:00:00|行业专利|来源中国超硬材料网

摘要名称纳米金刚石粉预处理的大面积金刚石膜材料的生长工艺公开号1275635公开日2000.12.06主分类号C23C1

名称	纳米金刚石粉预处理的大面积金刚石膜材料的生长工艺
公开号	1275635	公开日	2000.12.06
主分类号	C23C16/27	分类号	C23C16/27
申请号	00118919.0
分案原申请号		申请日	2000.06.16
颁证日		优先权
申请人	吉林大学	地址	130012吉林省长春市朝阳区前卫路10号
发明人	顾长志; 金曾孙	国际申请
国际公布		进入国家日期
专利代理机构	吉林大学专利事务所	代理人	王恩远
摘要	本发明属金刚石膜材料的制备工艺。包括预处理和长膜两个过程。预处理是将衬底在纳米级金刚石粉乙醇溶液中浸渍，再高温氢气氛等离子体中退火两小时形成均匀高密度仔晶；长膜是氢气和甲烷为原料气体，在化学气相沉积装置中，在５～１５ｍｂａｒ气压和６００～９５０℃衬底温度条件生长金刚石膜。本发明能生长均匀大面积金刚石膜，具有高附着力、低界面态密度、高可靠性、高品质与低成本等优良特性

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