一种气相生长金刚石膜的反应室 _专利

一种气相生长金刚石膜的反应室

关键词气相生长金刚石膜 , 反应室 |2010-12-23 00:00:00|行业专利|来源中国超硬材料网

摘要名称一种气相生长金刚石膜的反应室公开号2361640公开日2000.02.02主分类号C23C16/26

名称	一种气相生长金刚石膜的反应室
公开号	2361640	公开日	2000.02.02
主分类号	C23C16/26	分类号	C23C16/26
申请号	98211291.2
分案原申请号		申请日	1998.01.22
颁证日	1999.12.24	优先权
申请人	河北省机电一体化中试基地	地址	050081河北省石家庄市友谊南大街46号
发明人	张永贵; 梁风荣; 臧建民; 唐才先; 杜素梅; 王志娜; 罗	国际申请
国际公布		进入国家日期
专利代理机构	河北省科技专利事务所	代理人	丁琛
摘要	一种气相生长金刚石膜的反应室，包括等离子弧喷射装置、电机及导轨，等离子弧喷射装置装在盖体中部，盖体联接双层密封罩，双层密封罩上有观察窗，观察窗的顶端联接视镜，上述等离子弧喷射装置的外部、双层密封罩的夹层及观察窗的顶部均有连接循环水源的水套，密封罩的下部联接气腔壳，气腔壳及热交换器轴承联接沉积台托轴，沉积台托轴中有回水冷却管，电机齿轮传动沉积台托轴，轴座的一侧连接导轨，轴座的下部与推进装置由丝杠丝母联接。本反应室可以廉价高速地生长出大面积的金刚石膜。