多工位气相合成金刚石膜装置 _专利

多工位气相合成金刚石膜装置

关键词气相 , 金刚石膜 , 装置 |2010-12-24 00:00:00|行业专利|来源中国超硬材料网

摘要名称多工位气相合成金刚石膜装置公开号2264191公开日1997.10.08主分类号C23C16/26

名称	多工位气相合成金刚石膜装置
公开号	2264191	公开日	1997.10.08
主分类号	C23C16/26	分类号	C23C16/26;C30B25/00
申请号	96227452.6
分案原申请号		申请日	1996.03.22
颁证日	1997.09.13	优先权
申请人	曲承林	地址	266045山东省青岛市商丘路2号5户
发明人	曲承林	国际申请
国际公布		进入国家日期
专利代理机构	青岛化工学院专利事务所	代理人	于正河; 吴澄
摘要	本实用新型属于化学气相沉积技术，涉及一种由六套单元系统构成的多工位气相合成金刚石膜装置，各单元系统分别由充气系统、排气系统和反应室等连接构成，六单元系统并联成结构相同、工作相对独立且便于控制的六工位整机装置，氢气和甲烷充气系统并联后接入反应室，反应室内的灯丝安装和更换采用专用工装设备，制有辅助排气管路便于故障检修，具有结构新颖，性能可靠，产量高，质量好，便于维修等优点，可用于厚金刚石膜置备。

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