微磨料空气射流加工玻璃微流道结构研究_资讯

微磨料空气射流加工玻璃微流道结构研究

关键词微磨料 , 空气射流|2010-03-17 00:00:00|来源中国超硬材料网

摘要摘要采用微磨料气射流加工技术（MAJM），对普通硅酸盐玻璃进行微流道槽加工。对通过掩膜加工与非掩膜加工效果相比较，得出在掩膜加工过程中，由于磨料的二次反弹冲蚀作用，所加工出的槽，槽...

　　摘要采用微磨料气射流加工技术（MAJM），对普通硅酸盐玻璃进行微流道槽加工。对通过掩膜加工与非掩膜加工效果相比较，得出在掩膜加工过程中，由于磨料的二次反弹冲蚀作用，所加工出的槽，槽壁较陡；在掩膜加工过程中，改变喷射距离、喷射压力、喷嘴移动速度和磨料流量四个加工参数，对加工槽的轮廓、加工过程中的材料去除率、磨料的流量效应进行研究，得出当喷射距离为4mm，喷射压力为0.5MPa，喷嘴移动速度为1.0mm/s，磨料流量为0.117g/s时，加工效果最好。通过倾斜喷射与掩膜加工相结合，研究了磨料磨粒的二次反弹冲蚀现象，为复杂三维结构的加工，提供了一种新方法。
　　
　　
　　《金刚石与磨料磨具工程》第三期

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