一种金刚石膜的高效抛光加工方法 _专利

一种金刚石膜的高效抛光加工方法

关键词金刚石膜 , 高效抛光 , 加工方法 |2010-12-10 00:00:00|行业专利|来源中国超硬材料网

摘要名称一种金刚石膜的高效抛光加工方法公开号1266111公开日2000.09.13主分类号C25F3/16

名称	一种金刚石膜的高效抛光加工方法
公开号	1266111	公开日	2000.09.13
主分类号	C25F3/16	分类号	C25F3/16;C23C16/26;C23C16/56
申请号	99104906.3
分案原申请号		申请日	1999.03.09
颁证日		优先权
申请人	广东工业大学	地址	510090广东省广州市东风东路729号
发明人	王成勇; 郭钟宁; 魏昕	国际申请
国际公布		进入国家日期
专利代理机构	广东世纪专利事务所	代理人	刘卉
摘要	一种金刚石膜的高效抛光加工方法。本发明的技术方案是在金刚石膜表面涂覆一层可使金刚石膜表面形成为导电膜的金属涂覆层，然后进行电蚀加工。本发明的优点是：１、可以在很短时间内和用较低的成本获得理想的加工精度，加工效率高；２、有效保护金刚石膜薄弱的晶界，防止热冲击损伤；３、高质量旋转电极的电蚀加工保证了放电加工的稳定性、持续性和加工的表面质量。４、加工工艺简单，成本低，易于实现工业化生产。

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