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砂轮参数对SiC减薄工艺的影响

砂轮参数对SiC减薄工艺的影响
砂轮参数对SiC减薄工艺的影响
砂轮参数对SiC减薄工艺的影响

SiC器件正面工艺完成后,需要用到减薄工艺对衬底进行减薄加工,降低器件的导通电阻。尤其对于600-1200V的中低压SiC器件,衬底电阻带来的损耗影响了SiC器件的高效...

日期 2024-05-30   超硬新闻

湖南大学尹韶辉教授等:超精密晶圆减薄砂轮及减薄磨削装备研究进展

湖南大学尹韶辉教授等:超精密晶圆减薄砂轮及减薄磨削装备研究进展
湖南大学尹韶辉教授等:超精密晶圆减薄砂轮及减薄磨削装备研究进展
湖南大学尹韶辉教授等:超精密晶圆减薄砂轮及减薄磨削装备研究进展

在芯片制程的后道阶段,通过超精密晶圆减薄工艺可以有效减小芯片封装体积,导通电阻,改善芯片的热扩散效率,提高其电气性能、力学性能。目前的主流工艺通过超细粒度金刚石砂轮和高...

日期 2024-03-11   超硬新闻
三超新材:软刀和硅片背面减薄砂轮已有批量交货 半导体项目在稳步推进中

三超新材:软刀和硅片背面减薄砂轮已有批量交货 半导体项目在稳步推进中

2月7日,三超新材(300554)在互动平台表示,公司半导体项目在稳步推进中,部分产品在测试中,部分产品如软刀和...

日期 2022-02-09   企业新闻

国产半导体设备清华不沉默!华海清科带头掀起减薄设备产业化大幕

国产半导体设备清华不沉默!华海清科带头掀起减薄设备产业化大幕
国产半导体设备清华不沉默!华海清科带头掀起减薄设备产业化大幕
国产半导体设备清华不沉默!华海清科带头掀起减薄设备产业化大幕

国庆期间半导体行业也有好消息传来。据清华大学新闻网消息,由清华大学机械系路新春教授带领清华大学成果转化项目公司华海清科研发的首台12英寸超精密晶圆减薄机Versatil...

日期 2021-10-19   超硬新闻

多晶硅料持续上涨!光伏企业应对:减薄硅片

如同提前商议过一般,大宗商品的水泥、钢铁、混凝土价格接连上涨。近期,光伏行业的硅料价格也不甘落后,一路“高歌猛进”。受到硅料价格上涨的影响,光伏产业链也频繁调价,同时,...

日期 2021-05-21   电子光伏

多晶硅料均价冲破180元/千克!光伏企业应对:减薄硅片

如同提前商议过一般,大宗商品的水泥、钢铁、混凝土价格接连上涨。近期,光伏行业的硅料价格也不甘落后,一路“高歌猛进”。受到硅料价格上涨的影响,光伏产业链也频繁调价,同时,...

日期 2021-05-20   电子光伏

硅片减薄成趋势?中环建议单晶硅片厚度减至160微米

2月23日,天津中环半导体股份有限公司(以下简称“中环”)发布《技术创新和产品规格创新新降低硅料程本倡议书》,表示愿意配合下游客户逐步推动170μm、165μm和160...

日期 2021-02-24   电子光伏
国内首台!中科电成功研发300mm减薄抛光一体机

国内首台!中科电成功研发300mm减薄抛光一体机

近日,由电科装备所属北京中电科公司牵头承担的国家02科技重大专项“300mm超薄晶圆减薄抛光一体机研发与产业化”...

日期 2020-05-06   超硬新闻

三超新材:背面减薄砂轮实现小批量销售

4月27日,三超新材(300554)2017年度业绩说明会周五上午在全景网举行。关于半导体砂轮的验证阶段和发展规划,董事长、总经理邹余耀介绍,不同的厂家对新供应商的导入...

日期 2018-05-02   企业新闻
清华大学:基于纳米金刚石颗粒的大规模芯片减薄方法

清华大学:基于纳米金刚石颗粒的大规模芯片减薄方法

申请号:201611198428.7申请人:清华大学发明人:冯雪蔡世生张长兴李海成张迎超韩志远摘要:本发明公布了...

日期 2017-05-23   行业专利

一种双面研磨垫蓝宝石窗口片减薄加工方法

申请号:201610844838.8申请人:江苏吉星新材料有限公司发明人:胡孔林王晨宇摘要:本发明提供的一种双面研磨垫蓝宝石窗口片减薄加工方法,包括了制片、安装摆放垫与...

日期 2017-03-24   行业专利

LED蓝宝石基板与芯片背部减薄制程

在LED制程中,蓝宝石基板虽然受到来自Si与GaN基板的挑战,但是考虑到成本与良率,蓝宝石在近两年内仍然具有优势,可以预见接下来蓝宝石基板的发展方向是大尺寸与图案化(P...

日期 2015-06-30   电子光伏

专利:一种双面减薄陶瓷基金刚石研磨盘

申请号:201320727537申请人:北京安泰钢研超硬材料制品有限责任公司安泰科技股份有限公司摘要:本实用新型提供一种双面减薄陶瓷基金刚石研磨盘,其由上研磨盘和下研磨...

日期 2014-04-26   行业专利
LED蓝宝石基板与芯片背部减薄制程

LED蓝宝石基板与芯片背部减薄制程

目前在LED制程中,蓝宝石基板虽然受到来自Si与GaN基板的挑战,但是考虑到成本与良率,蓝宝石在近两年内仍然具有...

日期 2014-03-06   技术信息

蓝宝石基板减薄与平坦化的工艺制程

目前在LED制程中,蓝宝石基板虽然受到来自Si与GaN基板的挑战,但是考虑到成本与良率,蓝宝石在近两年内仍然具有优势,可以预见接下来蓝宝石基板的发展方向是大尺寸与图案化...

日期 2013-08-19   电子光伏

LED蓝宝石基板与芯片背部减薄制程解析

目前在LED制程中,蓝宝石基板虽然受到来自Si与GaN基板的挑战,但是考虑到成本与良率,蓝宝石在近两年内仍然具有优势,可以预见接下来蓝宝石基板的发展方向是大尺寸与图案化...

日期 2012-10-20   技术信息
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第六届磨料磨具磨削展览会暨2023金刚石产业大会

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2023年9月20日,时隔四年,期待已久的第六届磨料磨具磨削展览会在郑州国际会展中心隆重开幕。本次展览会由中国机械工业集团有限公司、国机精工股份有限公司、中国机械国际合作股份有限公司联合主办。旨在推动中国磨料磨具行业的快速发展,加强国内外企业的交流与合作。