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　　申请号：201610844838.8
　　申请人：江苏吉星新材料有限公司
　　发明人：胡孔林 王晨宇

　　摘要： 本发明提供的一种双面研磨垫蓝宝石窗口片减薄加工方法，包括了制片、安装摆放垫与打孔、配制金刚石研磨液、加入金刚石研磨液、研磨与回收研磨液等步骤，步骤简单，制备方便，采用聚氨酯垫配合金刚石研磨液的加工方法，利用聚氨酯研磨垫硬度较低，表面有许多小孔，在研磨的过程中金刚石颗粒可以镶嵌在表面，有效的减少金刚石颗粒对晶片表面的磨损，有效的提高加工效率，提升晶片外观质量，大大降低了成本并且可回收利用。

　　主权利要求：1.一种双面研磨垫蓝宝石窗口片减薄加工方法，其特征为，加工工艺如下：（1）制片：先通过切割将蓝宝石工件制成蓝宝石薄片，其中蓝宝石薄片的厚度为400-500微米；（2）安装摆放垫与打孔：将聚氨酯垫分别粘贴在上盘面与下盘面上，同时利用美工刀片对盘面上的流砂进行开孔；（3）配制金刚石研磨液：将5%的金刚石研磨液与95%自制悬浮液混合进行反应，在20℃-30℃下匀速搅拌15-45min，制备成金刚石研磨液；（4）加入金刚石研磨液：加入金刚石研磨液，金刚石研磨液的流量保持在10-20mL/min，使金刚石研磨液有效的分部在盘面的表面上；（5）研磨：打开研磨机进行研磨，研磨的时间为25-35min，研磨机的压力为450-550kg，研磨机的转速为25-35转/min；（6）回收金刚石研磨液：研磨完成后对研磨机上的金刚石研磨液进行回收再利用。
　　2.如权利要求1所述一种双面研磨垫蓝宝石窗口片减薄加工方法，其特征为，所述的金刚石研磨液为河南联合牌水性液，超纯水为实验室纯水机自制超纯水。