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湖南大学尹韶辉教授等:超精密晶圆减薄砂轮及减薄磨削装备研究进展

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在芯片制程的后道阶段,通过超精密晶圆减薄工艺可以有效减小芯片封装体积,导通电阻,改善芯片的热扩散效率,提高其电气性能、力学性能。目前的主流工艺通过超细粒度金刚石砂轮和高...

日期 2024-03-11   超硬新闻
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