根据天眼查APP数据显示晶盛机电(300316)新获得一项发明专利授权,专利名为“金刚石长晶装置”,专利申请号为CN202510130622.4,授权日为2025年4月8日。
专利摘要:本发明提供了一种金刚石长晶装置,属于金刚石生长技术领域,解决了现有技术金刚石生长质量欠佳的问题。本发明包括第一腔体,第一腔体下方设有生长区,所述生长区用于生长金刚石;天线,所述天线设置于第一腔体内且位于生长区上方,天线用于激发反应气体形成等离子体;以及调节组件,所述调节组件包括调节环和驱动件,所述调节环活动设置于天线上方,调节环用于约束等离子体的形态,所述驱动件作用于调节环,以使调节环至少具有水平方向的活动自由度。本申请通过额外配置调节组件,利用调节环约束等离子体的形态,然后通过驱动件调节调节环的水平位置,从而间接调节等离子体的水平位置,如此实现等离子体的位置纠偏,进而提高金刚石的长晶质量。
今年以来晶盛机电新获得专利授权43个,较去年同期减少了18.87%。结合公司2024年中报财务数据,2024上半年公司在研发方面投入了6.11亿元,同比增1.92%。