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　　申请号：201580032108.1
　　申请人：阪东化学株式会社
　　发明人：向史博 田浦歳和

　　摘要： 本发明的目的是提供一种能以高水平兼顾加工效率与精加工平坦性的研磨垫。本发明的研磨垫具有基材、及层叠于所述基材的表面侧的研磨层，且其特征在于：所述研磨层具有以树脂或无机物为主成分的粘合剂、及分散于所述粘合剂中的金刚石研磨粒，所述金刚石研磨粒的平均形状系数为1以上、1.33以下。所述粘合剂的主成分可为热硬化性树脂或光硬化性树脂。所述粘合剂的主成分可为硅酸盐。所述研磨层在表面可具有多个凸状部，所述多个凸状部可规则地排列。在所述基材的背面侧可具有粘接层。所述粘接层可由粘着剂构成。所述基材可具有可挠性或延性。 　　主权利要求：1.一种研磨垫，其具有基材、及层叠于所述基材的表面侧的研磨层，且所述研磨垫的特征在于：所述研磨层具有以树脂或无机物为主成分的粘合剂、及分散于所述粘合剂中的金刚石研磨粒，所述金刚石研磨粒的平均形状系数为1以上、1.33以下。
　　2.根据权利要求1所述的研磨垫，其中所述粘合剂的主成分为热硬化性树脂或光硬化性树脂。
　　3.根据权利要求1所述的研磨垫，其中所述粘合剂的主成分为硅酸盐。
　　4.根据权利要求1、2或3所述的研磨垫，其中所述研磨层在表面具有多个凸状部，所述多个凸状部规则地排列。
　　5.根据权利要求1至4中任一项所述的研磨垫，其中在所述基材的背面侧具有粘接层。
　　6.根据权利要求5所述的研磨垫，其中所述粘接层由粘着剂构成。
　　7.根据权利要求1至6中任一项所述的研磨垫，其中所述基材具有可挠性或延性。
　　8.一种研磨垫的制造方法，其制造具有基材、及层叠于所述基材的表面侧的研磨层的研磨垫，且所述制造方法的特征在于包括通过研磨层用组合物的印刷而形成所述研磨层的步骤，在所述研磨层形成步骤中，使用研磨层用组合物，所述研磨层用组合物具有以树脂或无机物为主成分的粘合剂成分、及平均形状系数为1以上、1.33以下的金刚石研磨粒。