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采用热丝化学气相沉积法研究镶嵌单晶金刚石晶片上硼掺杂层的水平和垂直均匀性

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为了开发英寸级金刚石加工技术,采用热丝化学气相沉积(CVD)技术在镶嵌单晶金刚石片上生长了硼掺杂层,与微波等离子...

日期 2022-06-08   超硬新闻
一种在工件内孔沉积金刚石薄膜的热丝化学气相沉积装置

一种在工件内孔沉积金刚石薄膜的热丝化学气相沉积装置

申请号:201620932071.X申请人:中国科学院金属研究所发明人:姜辛刘鲁生黄楠杨兵翟超峰李俊豪贾心怡摘要...

日期 2017-02-28   行业专利

多元掺杂热丝化学气相沉积制备金刚石薄膜的方法

专利号:201210085095申请人:上海交通大学;上海交友钻石涂层有限公司技术简要说明:本发明公开了一种多元掺杂热丝化学气相沉积制备金刚石薄膜的方法

日期 2012-08-03   行业专利
热丝化学气相沉积(HFCVD)制备金刚石薄膜技术

热丝化学气相沉积(HFCVD)制备金刚石薄膜技术

河南工业大学材料科学与工程学院杨德威栗正新导读:本文简要阐述了热丝CVD制备金刚石薄膜的技术原理,探讨了影响金刚...

日期 2012-04-14   技术信息

回旋电子增强热丝化学气相沉积制备金刚石薄膜的方法

名称回旋电子增强热丝化学气相沉积制备金刚石薄膜的方法公开号1355330公开日2002.06.26主分类号C23C1

日期 2010-12-21   行业专利

光子-热丝化学气相沉积生长大面积金刚石薄膜的方法

名称光子-热丝化学气相沉积生长大面积金刚石薄膜的方法公开号1355329公开日2002.06.26主分类号C23C1

日期 2010-12-21   行业专利

一种热丝化学气相沉积金刚石的设备

名称一种热丝化学气相沉积金刚石的设备公开号2283067公开日1998.06.03主分类号C23C16/26&nbs

日期 2010-12-21   行业专利

一种大面积高速度热丝化学气相沉积金刚石的方法及设备

名称一种大面积高速度热丝化学气相沉积金刚石的方法及设备公开号1160089公开日1997.09.24主分类号C23C

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