一种热丝化学气相沉积金刚石的设备 _专利

一种热丝化学气相沉积金刚石的设备

关键词热丝 , 化学气相沉积 , 金刚石设备 |2010-12-21 00:00:00|行业专利|来源中国超硬材料网

摘要名称一种热丝化学气相沉积金刚石的设备公开号2283067公开日1998.06.03主分类号C23C16/26&nbs

名称	一种热丝化学气相沉积金刚石的设备
公开号	2283067	公开日	1998.06.03
主分类号	C23C16/26	分类号	C23C16/26;C23C16/46
申请号	96225527.0
分案原申请号		申请日	1996.03.07
颁证日	1998.03.12	优先权
申请人	中国科学院金属研究所	地址	110015辽宁省沈阳市沈河区文化路72号
发明人	闻立时; 黄荣芳; 陈岩; 刘德义; 程新红	国际申请
国际公布		进入国家日期
专利代理机构	中国科学院沈阳专利事务所	代理人	张晨
摘要	一种热丝化学气相沉积金刚石的设备，由反应气体入口，热丝加热器，样品座等部分构成，其特征在于：反应气体入口下方安装有气体分配器，气体分配器上部为塔式结构，内装１—１０层多孔节流隔板，分配器的下端为筒式结构，正对下方的热丝加热器；热丝加热器为等距平行加热丝平面阵列，水平放置；加热器正下方与其垂直正交设置有等距平行的支撑丝平面阵列；正对加热器下方为带出气孔的样品座；样品座周围设有１—１０圈辅助加热丝。本实用新型可以实现大面积地生长优质金刚石。

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