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高定向纳米金刚石膜的高功率微波等离子体化学气相沉积研究

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高定向纳米金刚石膜的高功率微波等离子体化学气相沉积研究

摘要:采用高功率微波等离子体化学气相沉积法制备了高定向的纳米金刚石膜,研究了制备过程中促进高定向纳米金刚石膜的生长条件与生长规律间的关联,并采用扫描电镜、原子...

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