光子－热丝化学气相沉积生长大面积金刚石薄膜的方法 _专利

光子－热丝化学气相沉积生长大面积金刚石薄膜的方法

关键词化学 , 气相沉积 , 金刚石薄膜 |2010-12-21 00:00:00|行业专利|来源中国超硬材料网

摘要名称光子－热丝化学气相沉积生长大面积金刚石薄膜的方法公开号1355329公开日2002.06.26主分类号C23C1

名称	光子－热丝化学气相沉积生长大面积金刚石薄膜的方法
公开号	1355329	公开日	2002.06.26
主分类号	C23C16/27	分类号	C23C16/27;C23C16/48
申请号	00132595.7
分案原申请号		申请日	2000.11.30
颁证日		优先权
申请人	黑龙江省光电技术研究所	地址	157000黑龙江省牡丹江市光华街106－1号
发明人	申家镜;邵春雷;彭鸿雁;魏雪峰	国际申请
国际公布		进入国家日期
专利代理机构		代理人
摘要	本发明公开了一种光子－热丝化学气相沉积生长大面积金刚石薄膜的方法，其特征是在热丝化学气相沉积的工艺中，同时采用波长为 3.5μm的红外光对生长衬底表面进行照射。本发明可提高原料气体的分解率，从而提高金刚石膜的沉积速度，改善金刚石膜的质量

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