随着半导体技术的飞速发展,化学机械抛光(CMP)作为一项关键工艺,承担着集成电路制造中平整化处理的重任。CMP工艺通过机械磨削和化学反应相结合的方式,使得晶圆表面达到所需的平整度,以满足后续工艺需求。传统的CMP耗材多采用多晶金刚石,这种材料虽然价格较为经济,但在长时间高精度加工中的耐磨性和稳定性较差。而单晶金刚石由于其优异的机械强度和化学惰性,逐渐被认为是替代多晶金刚石的理想材料。通过激光切割的单晶金刚石盘,不仅在微观结构上表现出更均匀的切削能力,同时具备更长的使用寿命和更高的工艺稳定性。
近日,Morglory公司推出新一代单晶金刚石盘(disks),这标志着全球领先的单晶金刚石技术进入CMP工艺应用市场。新一代单晶金刚石盘的诞生,源自于先进的单晶金刚石制造技术。传统的CMP耗材产品主要依赖多晶合成金刚石。然而,最新推出的单晶金刚石盘通过精确的激光切割技术,实现了极致的金字塔尖端结构。这一结构不仅增强了盘的耐用性和耐磨性,还能在加工过程中提供更加稳定的切削力,大幅提高了CMP工艺的精度和效率。
其中,单晶金刚石激光切割技术是这一突破的关键。该技术确保了每个金刚石顶点的高度、角度和间距特性完全可控且稳定。此外,还可根据客户的具体需求进行定制设计与生产,提供多样化的CMP工艺优化解决方案。
目前,这一新一代单晶金刚石盘已在多家半导体工艺制造商中进入试用阶段。其研磨效果在顶点高度、角度和间距的均匀性等方面表现出了极高的精度和稳定性,并获得了初步的积极反馈。未来,这款产品预计将在全球半导体工艺应用市场进一步推广,为全球半导体行业的技术升级提供强有力的支持。