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　　申请号：201620932071.X
　　申请人：中国科学院金属研究所
　　发明人：姜辛 刘鲁生 黄楠 杨兵 翟超峰 李俊豪 贾心怡

　　摘要： 本实用新型涉及金刚石膜生长领域，尤其涉及一种在工件内孔沉积金刚石薄膜的热丝化学气相沉积装置。该装置设有密闭的反应腔体，反应腔体的一端设有气体喷淋头，气体喷淋头通过管路与外部气源连接，反应腔体的另一端设有抽真空系统和真空测控系统；反应腔体内部设有中空的水冷样品台，水冷样品台的中空部分向内依次设有绝缘层、导电层、工件、热丝。本实用新型可以实现在工件内孔快速、均匀沉积金刚石薄膜，减少反应气体的消耗，沉积过程中能测控热丝的温度、工件表面的温度和反应腔内的压强，能准确控制金刚石薄膜沉积各项主要工艺参数，工艺重复性好。 　　主权利要求：1.一种在工件内孔沉积金刚石薄膜的热丝化学气相沉积装置，其特征在于，该装置设有密闭的反应腔体，反应腔体的一端设有气体喷淋头，气体喷淋头通过管路与外部气源连接，反应腔体的另一端设有抽真空系统和真空测控系统；反应腔体内部设有中空的水冷样品台，水冷样品台的中空部分向内依次设有绝缘层、导电层、工件、热丝。