一种大面积高速度热丝化学气相沉积金刚石的方法及设备 _专利

一种大面积高速度热丝化学气相沉积金刚石的方法及设备

关键词大面积 , 高速度 , 热丝化学气相沉积 , 金刚石|2010-12-10 00:00:00|行业专利|来源中国超硬材料网

摘要名称一种大面积高速度热丝化学气相沉积金刚石的方法及设备公开号1160089公开日1997.09.24主分类号C23C

名称	一种大面积高速度热丝化学气相沉积金刚石的方法及设备
公开号	1160089	公开日	1997.09.24
主分类号	C23C16/26	分类号	C23C16/26;C23C16/46
申请号	96115163.3
分案原申请号		申请日	1996.03.20
颁证日		优先权
申请人	中国科学院金属研究所	地址	110015辽宁省沈阳市沈河区文化路72号
发明人	闻立时; 黄荣芳; 陈广超	国际申请
国际公布		进入国家日期
专利代理机构	中国科学院沈阳专利事务所	代理人	张晨
摘要	一种大面积高速度热丝化学气相沉积金刚石的方法，采用通常的氢与甲烷的比例，甲烷占总流量的１—１．５％，混合气体流量１０～２００ＳＣＣＭ／ｃｍ#+[２]；保持反应区温度在２０００～２６００℃，其特征在于：将氢气对准钨丝，甲烷气对准两根钨丝之间的空档均匀地吹入反应区。本发明使设备钨丝的寿命可以得到很大提高。

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