名称 | 类金刚石薄膜作光学增透膜的新应用 | ||
公开号 | 1076552 | 公开日 | 1993.09.22 |
主分类号 | H01L31/0216 | 分类号 | H01L31/0216;H01L31/0232;H01L31/18;C23C16/26;C23C16 |
申请号 | 92108354.8 | ||
分案原申请号 | 申请日 | 1992.03.17 | |
颁证日 | 上海科学技术大学 | 优先权 | 201800上海市嘉定县南门城中路20号 |
申请人 | 夏义本; 安其霖; 居建华; 史伟民; 王鸿 | 地址 | |
发明人 | 国际申请 | ||
国际公布 | 进入国家日期 | ||
专利代理机构 | 上海高校专利事务所 | 代理人 | 张建成 |
摘要 | 类金刚石薄膜以高频等离子体气相淀积法,涂覆于硅太阳能与红外探测器上,具有增透膜的用途。本发明解决了该类光电器件原有增透膜的光电转换率及光透性差问题,特别是应用于硅太阳能电池上,已使其光谱响应明显提高;短路电流增加率达37.9%,也已接近40%理论值;于600~700nm波长内量子效率近于1。用于红外探测器特别是碲镉汞材料所制器件,既解决了8~14μm光增透材料,而且使透射率平均提高16%。 |