名称 | 微波辅助类金刚石薄膜包覆玻璃纤维的复合纤维制备方法 | ||
申请号 | 201210143782 | 申请日 | 2012年5月10日 |
公开号 | 102627413A | 公开日 | 2012年8月8日 |
代理机构 | 兰州中科华西专利代理有限公司( 62002 ) | 代理人 | 李艳华 |
申请人 | 兰州大学 | 地址 | 甘肃省兰州市城关区天水南路222号 |
发明人 | 谢二庆 陈万军 何勇民 | 主分类号 | C03C 25/22 |
国家/省市 | 中国甘肃( 62 ) | 分类号 | C03C 25/22 C03C 25/44 C23C 16/27 C23C 16/511 |
摘要 | 本发明涉及一种微波辅助类金刚石薄膜包覆玻璃纤维的复合纤维制备方法,该方法包括以下步骤:⑴启动微波等离子体化学气相沉积系统,抽真空;⑵将天然气通入圆柱形不锈钢真空室,使其均匀充满整个圆柱形不锈钢真空室;⑶启动微波源,使微波源产生的微波在锥形金属滚筒内激发等离子体,将天然气充分分解为具有活性的碳氢集团;⑷将原料玻璃纤维加入锥形金属滚筒内;⑸启动电动机,使原料均匀分散并发生离心运动,与此同时,天然气分解产生的碳氢集团在玻璃纤维表面沉积并生长成类金刚石薄膜,形成复合纤维——类金刚石包覆的玻璃纤维并定时排出;⑹重复⑴~⑸步骤;⑺生产结束后,关闭所有阀门及微波源和电动机。本发明成本廉价、实施简单、便于操作。 | ||
独立权利要求 | 1.微波辅助类金刚石薄膜包覆玻璃纤维的复合纤维制备方法,包括以下步骤:⑴启动微波等离子体化学气相沉积系统,通过抽气阀(16)将圆柱形不锈钢真空室(1)内的真空抽到10-3Pa以下;⑵通过所述微波等离子体化学气相沉积系统中的进气阀(15)将天然气通入所述圆柱形不锈钢真空室(1),使其均匀充满整个所述圆柱形不锈钢真空室(1);⑶启动微波等离子体化学气相沉积系统中的微波源(3),使所述微波源(3)产生的微波通过波导管(4)从左石英窗口(2)进入所述圆柱形不锈钢真空室(1),并在所述微波等离子体化学气相沉积系统中的锥形金属滚筒(5)内激发等离子体,将天然气充分分解为具有活性的碳氢集团;⑷将所述微波等离子体化学气相沉积系统中储料室(13)内的原料玻璃纤维通过加料阀(12)加入所述锥形金属滚筒(5)内;⑸启动微波等离子体化学气相沉积系统中的电动机(6);所述电动机(6)驱动转轴(7)通过右侧石英窗口(2)中心的法兰及轴承(8)和所述圆柱形不锈钢真空室(1)内所述锥形金属滚筒(5)右端的十字支架(9)带动所述锥形金属滚筒(5)连同其内壁的拨片(10)转动,连续不断地将聚集在所述锥形金属滚筒(5)底端的原料从底端运送到顶端再在重力的作用下下落,随着所述锥形金属滚筒(5)的旋转,使原料均匀分散并发生离心运动而向右端运动,与此同时,天然气分解产生的碳氢集团在玻璃纤维表面沉积并生长成类金刚石薄膜,形成复合纤维——类金刚石包覆的玻璃纤维,最终从所述锥形金属滚筒(5)右端通过出料阀(14)定时排出;没有完全反应的气体通过抽气阀(16)排出所述圆柱形不锈钢真空室(1)外;⑹重复⑴~⑸步骤;⑺生产结束后,关闭所述进气阀(15)、抽气阀(16)、加料阀(12)、出料阀(14)及微波源(3)和电动机(6)。 |
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