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 一种用于沉积制备金刚石的反应器

一种用于沉积制备金刚石的反应器

申请号:一种用于沉积制备金刚石的反应器申请日:201720500248.3申请人:2017.04.26发明人:许...

日期 2018-01-29   行业专利
一种沉积制备金刚石的方法

一种沉积制备金刚石的方法

申请号:201710327863.3申请人:金华职业技术学院发明人:赵永建张向平许杨文

日期 2017-08-23   行业专利
一种用于沉积制备金刚石的反应器

一种用于沉积制备金刚石的反应器

申请号:201710321049.0申请人:金华职业技术学院发明人:赵永建张向平许杨文

日期 2017-08-16   行业专利
利用化学气相沉积制备单层金刚石磨料工具的方法

利用化学气相沉积制备单层金刚石磨料工具的方法

申请号:201710072261.8申请人:上海交通大学上海交友钻石涂层有限公司发明人:孙方宏申笑天王新昶郭松寿...

日期 2017-07-19   行业专利

不同衬底温度下脉冲激光沉积制备a-SiC薄膜的结构和光学特性

不同衬底温度下脉冲激光沉积制备a-SiC薄膜的结构和光学特性
不同衬底温度下脉冲激光沉积制备a-SiC薄膜的结构和光学特性
不同衬底温度下脉冲激光沉积制备a-SiC薄膜的结构和光学特性

引言纳米结构碳化硅的机械强度高、硬度高、化学惰性好,比传统碳化硅材料要优越许多。因此常用于硅基微机电系统(MEMS),压力传感器、核聚变装置等设备中。纳米碳化硅的发光效...

日期 2015-02-10   技术信息

化学气相沉积制备硅掺杂微纳复合金刚石薄膜的方法

申请号:201410005272申请人:上海交通大学上海交友钻石涂层有限公司苏州交钻纳米超硬薄膜有限公司摘要:本发明公开了一种化学气相沉积制备硅掺杂微纳复合金刚石薄膜的...

日期 2014-05-23   行业专利

多元掺杂热丝化学气相沉积制备金刚石薄膜的方法

专利号:201210085095申请人:上海交通大学;上海交友钻石涂层有限公司技术简要说明:本发明公开了一种多元掺杂热丝化学气相沉积制备金刚石薄膜的方法

日期 2012-08-03   行业专利

回旋电子增强热丝化学气相沉积制备金刚石薄膜的方法

名称回旋电子增强热丝化学气相沉积制备金刚石薄膜的方法公开号1355330公开日2002.06.26主分类号C23C1

日期 2010-12-21   行业专利

热阴极辉光等离子体化学相沉积制备金刚石膜的工艺

名称热阴极辉光等离子体化学相沉积制备金刚石膜的工艺公开号1107900公开日1995.09.06主分类号C23C16

日期 2010-12-10   行业专利
  共 9 条记录

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