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科学家在离子体化学气相沉积技术构筑金刚石-石墨材料研究方面获进展

共价金刚石-石墨材料集合了金刚石和石墨的性质优势,能够实现超硬、极韧、导电等优越性能组合,在超硬和电子器件领域具有研究和发展价值。目前,由于金刚石-石墨共价界面能高,主...

日期 2024-05-09   超硬新闻

《金刚石制备 低压微波等离子体化学气相沉积系统》团体标准获批立项

《金刚石制备 低压微波等离子体化学气相沉积系统》团体标准获批立项
《金刚石制备 低压微波等离子体化学气相沉积系统》团体标准获批立项
《金刚石制备 低压微波等离子体化学气相沉积系统》团体标准获批立项

4月23日,中国质量检验协会发布通知,《金刚石制备低压微波等离子体化学气相沉积系统》团体标准顺利通过评审,批准立项。上海铂世光半导体科技有限公司、上海征世科技股份有限公...

日期 2023-04-26   超硬新闻
采用热丝化学气相沉积法研究镶嵌单晶金刚石晶片上硼掺杂层的水平和垂直均匀性

采用热丝化学气相沉积法研究镶嵌单晶金刚石晶片上硼掺杂层的水平和垂直均匀性

为了开发英寸级金刚石加工技术,采用热丝化学气相沉积(CVD)技术在镶嵌单晶金刚石片上生长了硼掺杂层,与微波等离子...

日期 2022-06-08   超硬新闻
哈尔滨工业大学915MHz微波等离子体化学气相沉积系统(金刚石生长设备)公开招标公告

哈尔滨工业大学915MHz微波等离子体化学气相沉积系统(金刚石生长设备)公开招标公告

哈尔滨工业大学915MHz微波等离子体化学气相沉积系统(金刚石生长设备)招标项目的潜在投标人应在必联网(http...

日期 2021-10-12   超硬新闻

微波等离子体化学气相沉积设备及高品质金刚石合成与应用研究项目顺利通过科技成果

微波等离子体化学气相沉积设备及高品质金刚石合成与应用研究项目顺利通过科技成果
微波等离子体化学气相沉积设备及高品质金刚石合成与应用研究项目顺利通过科技成果
微波等离子体化学气相沉积设备及高品质金刚石合成与应用研究项目顺利通过科技成果

2020年12月24日,由第三方科技成果评价机构湖南省新材料产业协会组织的“微波等离子体化学气相沉积设备及高品质金刚石合成与应用研究”项目科技成果评价会圆满召开。该项目...

日期 2021-01-04   超硬新闻

改进的化学气相沉积生长方法,消除杂质,制备单层单晶石墨烯!

改进的化学气相沉积生长方法,消除杂质,制备单层单晶石墨烯!
改进的化学气相沉积生长方法,消除杂质,制备单层单晶石墨烯!
改进的化学气相沉积生长方法,消除杂质,制备单层单晶石墨烯!

科学家们研究了一个真正的单层,即大面积石墨烯薄膜覆盖在大面积铜箔上。改进了化学气相沉积(CVD)生长方法,消除了石墨烯生长在铜箔上的所有碳杂质。这种均匀“完美”的单层单...

日期 2019-09-05   超硬新闻
化学气相沉积的金刚石圆盘是科学家控制核聚变反应不可或缺的材料

化学气相沉积的金刚石圆盘是科学家控制核聚变反应不可或缺的材料

图片所示为,用于核聚变反应堆和回旋管中的多晶CVD金刚石圆盘。图片来源:卡尔斯鲁厄理工学院因为核电能够给人们提供...

日期 2018-08-07   超硬新闻

化学气相沉积(CVD)技术梳理

1.化学气相沉积CVD的来源及发展化学气相沉积(ChemicalVaporDeposition)中的VaporDeposition意为气相沉积,其意是指利用气相中发生的...

日期 2018-03-07   技术信息
CVD / PVD

高定向纳米金刚石膜的高功率微波等离子体化学气相沉积研究

高定向纳米金刚石膜的高功率微波等离子体化学气相沉积研究
高定向纳米金刚石膜的高功率微波等离子体化学气相沉积研究
高定向纳米金刚石膜的高功率微波等离子体化学气相沉积研究

摘要:采用高功率微波等离子体化学气相沉积法制备了高定向的纳米金刚石膜,研究了制备过程中促进高定向纳米金刚石膜的生长条件与生长规律间的关联,并采用扫描电镜、原子...

微波等离子体化学气相沉积法生长单晶金刚石用的沉积台

微波等离子体化学气相沉积法生长单晶金刚石用的沉积台

申请号:201720707933.3申请日:2017.06.16申请人:北京科技大学发明人:李成明;赵云;林亮珍...

日期 2018-01-08   行业专利
一种化学气相沉积镀制金刚石膜的设备

一种化学气相沉积镀制金刚石膜的设备

申请号:201720497623.3申请日:2017.05.05申请人:宁波工程学院发明人:王瑞来;鲍明东;徐雪...

日期 2018-01-02   行业专利
 一种用于微波等离子体化学气相沉积法制备金刚石膜的基片台

一种用于微波等离子体化学气相沉积法制备金刚石膜的基片台

申请号:201720527928.4申请日:2017.05.12申请人:中国工程物理研究院应用电子学研究所发明人...

日期 2017-12-22   行业专利
一种金刚石薄膜的射频等离子化学气相沉积装置

一种金刚石薄膜的射频等离子化学气相沉积装置

申请号:201720267999.5申请日:2017.03.20国家/省市:中国河南(41)主分类号:C23C1...

日期 2017-10-09   行业专利
一种化学气相沉积镀制金刚石膜的设备的吹气装置

一种化学气相沉积镀制金刚石膜的设备的吹气装置

申请号:201710313388.4申请人:宁波工程学院发明人:鲍明东徐雪波吕志甲杨梦梦冯超何骅波丁兰&n

日期 2017-08-24   行业专利
利用化学气相沉积制备单层金刚石磨料工具的方法

利用化学气相沉积制备单层金刚石磨料工具的方法

申请号:201710072261.8申请人:上海交通大学上海交友钻石涂层有限公司发明人:孙方宏申笑天王新昶郭松寿...

日期 2017-07-19   行业专利
一种用于微波等离子体化学气相沉积法制备金刚石膜的基片台

一种用于微波等离子体化学气相沉积法制备金刚石膜的基片台

申请号:201710334592.4申请人:中国工程物理研究院应用电子学研究所发明人:李文君周霖程云冯真李春霞单...

日期 2017-07-14   行业专利
化学气相沉积金刚石刀具及其加工方法

化学气相沉积金刚石刀具及其加工方法

申请号:201710197936.1申请人:深圳市中天超硬工具股份有限公司发明人:林汉生刘敏解宇摘要:本发明涉及...

日期 2017-07-05   行业专利
微波等离子体化学气相沉积金刚石反应装置

微波等离子体化学气相沉积金刚石反应装置

申请号:201710244693.2申请人:于宗旭发明人:于宗旭摘要:本发明为一种微波等离子体化学气相沉积金刚石...

一种用于化学气相沉积金刚石薄膜的紧凑型真空反应装置

一种用于化学气相沉积金刚石薄膜的紧凑型真空反应装置

申请号:201610920789.1申请人:哈尔滨工业大学发明人:白清顺王永旭赵航余天凯杜云龙张庆春摘要:一种用...

一种在工件内孔沉积金刚石薄膜的热丝化学气相沉积装置

一种在工件内孔沉积金刚石薄膜的热丝化学气相沉积装置

申请号:201620932071.X申请人:中国科学院金属研究所发明人:姜辛刘鲁生黄楠杨兵翟超峰李俊豪贾心怡摘要...

日期 2017-02-28   行业专利
123   共 52 条记录

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