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       申请号：201710313388.4
       申请人：宁波工程学院
       发明人：鲍明东 徐雪波 吕志甲 杨梦梦 冯超 何骅波 丁兰

       摘要： 一种化学气相沉积镀制金刚石膜的设备的吹气装置，包括喷枪(9)、波纹软管(10)、第一支撑结构(11)、第二支撑结构(12)和安装板(13)，所述第二支撑结构(12)包括第二支杆(17)、第二夹持件(18)和滑轮(19)，所述安装板(13)上设有圆弧形滑槽(20)，所述滑轮(19)与圆弧形滑槽(20)滚动连接。该吹气装置应用于镀制金刚石膜设备后，在镀制金刚石膜的过程中，当观察到衬底试样表面出现异质颗粒物时，可以及时将异质颗粒物从衬底试样表面清除，从而可以避免镀制出来的金刚石膜受到异质颗粒物的影响，保证镀制出来的金刚石膜的质量。        主权利要求：1.一种化学气相沉积镀制金刚石膜的设备的吹气装置，包括喷枪(9)、波纹软管(10)、第一支撑结构(11)、第二支撑结构(12)和安装板(13)；所述喷枪(9)通过第一支撑结构(11)和第二支撑结构(12)安装在安装板(13)上，所述安装板(13)滑动连接在安装台(7)上，所述第一支撑结构包括第一支杆(15)以及与第一支杆(15)活动连接的第一夹持件(16)，所述第二支撑结构(12)包括第二支杆(17)、第二夹持件(18)和滑轮(19)，所述第二夹持件(18)固定在第二支杆(17)的一端，所述滑轮(19)与第二支杆(17)的另一端连接，所述喷枪(9)固定在第一夹持件(16)和第二夹持件(18)上，所述安装板(13)上设有圆弧形滑槽(20)，所述滑轮(19)与圆弧形滑槽(20)滚动连接，所述安装板(13)上固定有用以驱动滑轮(19)在弧形滑槽(20)内滚动的驱动机构，所述驱动机构包括第一伺服电机(21)和摆杆(22)，所述摆杆(22)一端与第一伺服电机(21)连接，所述摆杆(22)的另一端与第二支杆(17)连接，所述第一伺服电机(21)与化学气相沉积镀制金刚石膜的设备的工控系统连接。
       2.按照权利要求1所述的一种化学气相沉积镀制金刚石膜的设备的吹气装置，其特征在于：所述第一支杆(15)包括第一杆体(15.1)和第二杆体(15.2)，所述第一杆体(15.2)固定在安装板(13)上，所述第一夹持件(16)通过万向接头与第一杆体(15.1)的一端连接，所述第二杆体(15.2)和第一杆体(15.1)滑动连接，所述第二杆体(15.2)和第一杆体(15.1)之间设有驱动第二杆体(15.2)在第一杆体(15.1)内上下滑动的驱动组件。
       3.按照权利要求2所述的一种化学气相沉积镀制金刚石膜的设备的吹气装置，其特征在于：所述第二杆体(15.2)和第一杆体(15.1)滑动连接是指，所述第二杆体(15.2)远离第一夹持件(16)的一端设有滑条(15.3)，所述第一杆体(15.1)上设有与所述滑条(15.3)滑动连接的滑槽(15.4)，所述驱动组件包括第三伺服电机(33)和齿轮(34)，所述第三伺服电机(33)固定在安装板(13)上，所述第三伺服电机(33)的驱动端与齿轮(34)连接，所述滑条(15.3)的侧壁上设有齿条(15.5)，所述齿轮(34)与齿条(15.5)啮合连接。
       4.按照权利要求1所述的一种化学气相沉积镀制金刚石膜的设备的吹气装置，其特征在于：所述喷枪(9)的端部固定设有用于遮挡设备中的电极(2)的挡板(32)。