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申请号: 201720497623.3

申请日: 2017.05.05

申请人: 宁波工程学院  

发明人: 王瑞来; 鲍明东; 徐雪波; 杜一; 冯超; 吕志甲; 杨梦梦 

       摘要： 

       本实用新型涉及金刚石膜制备技术领域，具体涉及一种化学气相沉积镀制金刚石膜的设备，包括镀膜腔体(1)和工控系统，电极(2)和试样台(4)，还包括辅助腔体(5)，电动阀门(6)，所述电动阀门(6)与工控系统电连接，所述辅助腔体(5)内具有在镀膜时用以向试样(3)表面吹气的吹气装置，所述吹气装置滑动连接在安装台(7)上，安装台(7)上还设有驱动装置。采用这种结构后，当观察到试样表面出现异质颗粒物时，可以及时将异质颗粒物从试样表面清除，从而可以避免镀制出来的金刚石膜受到异质颗粒物的影响，保证镀制出来的金刚石膜的质量。

       主权利要求:

       一种化学气相沉积镀制金刚石膜的设备，包括镀膜腔体(1)、安装台架(40)和工控系统，所述镀膜腔体(1)固定在安装台架(40)上，所述镀膜腔体(1)内固定有电极(2)和用于夹持试样(3)的试样台(4)，所述试样台(4)位于电极(2)正下方，其特征在于：所述一种化学气相沉积镀制金刚石膜的设备还包括辅助腔体(5)，所述辅助腔体(5)与镀膜腔体(1)连接，所述辅助腔体(5)与镀膜腔体(1)之间设有将辅助腔体(5)与镀膜腔体(1)隔开的电动阀门(6)，所述电动阀门(6)与工控系统电连接，所述辅助腔体(5)内具有在镀膜时用以向试样(3)表面吹气的吹气装置，所述辅助腔体(5)内固定有安装台(7)，所述吹气装置滑动连接在安装台(7)上，安装台(7)上还设有用以将吹气装置推向试样(3)方向运动的驱动装置，所述驱动装置与吹气装置连接，所述辅助腔体(5)的腔体上连接有抽气装置(8)，所述一种化学气相沉积镀制金刚石膜的设备还包括用以给吹气装置提供气源的气源系统，所述吹气装置与气源系统连接。