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 一种用于微波等离子体化学气相沉积法制备金刚石膜的基片台

一种用于微波等离子体化学气相沉积法制备金刚石膜的基片台

申请号:201720527928.4申请日:2017.05.12申请人:中国工程物理研究院应用电子学研究所发明人...

日期 2017-12-22   行业专利
一种用于微波等离子体化学气相沉积法制备金刚石膜的基片台

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申请号:201710334592.4申请人:中国工程物理研究院应用电子学研究所发明人:李文君周霖程云冯真李春霞单...

日期 2017-07-14   行业专利
  共 2 条记录

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