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　　申请号：201310538875

　　申请人：昆山宏凌电子有限公司

　　摘要：一种LED行业用超精细清洗抛光液：10-15%椰子油酰二乙醇胺；金刚石颗粒，且所述金刚石颗粒为50~60nm；Fe<20ppm，且Zn<0.01ppm；且所述抛光液的密度为1.2kg/m3，pH值为11~12，固体含量30%，其能够抛光LED的衬底，且抛光效率高。

　　独立权利要求：1.一种LED行业用超精细清洗抛光液，其含有：10-15%椰子油酰二乙醇胺；金刚石颗粒，且所述金刚石颗粒为50~60nm；Fe<20ppm，且Zn<0.01ppm；且所述抛光液的密度为1.2kg/m3，pH值为11~12，固体含量30%。

　　2.如权利要求1所述的抛光液，其特征在于：所述金刚石颗粒为聚多晶纳米金刚石颗粒。

　　3.如权利要求1所述的抛光液，其特征在于：通过NaOH调整所述抛光液的pH值为11。

　　4.如权利要求1所述的抛光液，其特征在于：所述抛光液被用于抛光LED的蓝宝石衬底。

　　5.如权利要求1所述的抛光液，其特征在于：所述抛光液中还具有1%的缓蚀剂。