汽相淀积金刚石的方法及装置 _专利

汽相淀积金刚石的方法及装置

关键词汽相淀积 , 金刚石 , 方法 , 装置 |2010-12-09 00:00:00|行业专利|来源中国超硬材料网

摘要名称汽相淀积金刚石的方法及装置公开号1060316公开日1992.04.15主分类号C23C16/26

名称	汽相淀积金刚石的方法及装置
公开号	1060316	公开日	1992.04.15
主分类号	C23C16/26	分类号	C23C16/26;C23C16/50;C01B31/06;H01L21/205
申请号	91109955.7
分案原申请号		申请日	1988.04.02
颁证日		优先权	[32]1987.4.3[33]JP[31]083318/87;[32]1987.9.4[33]JP
申请人	富士通株式会社	地址	日本神奈川县
发明人	栗原和明; 佐佐木谦一; 河原田元信; 越野长明	国际申请
国际公布		进入国家日期
专利代理机构	中国国际贸易促进委员会专利代理部	代理人	王杰
摘要	汽相淀积金刚石的方法：$在热等离子体化学汽相淀积装置的阴阳极之间通入放电气的同时进行电弧放电；$通过向形成的等离子流中加入气态碳化物使气态碳化合物自由基化；以及$使所述的自由基化的等离子流碰撞待处理的基片，从而在所述基片上形成一层金刚石膜。

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