上海征世科技股份有限公司(以下简称:征世科技)宣布成功研发出2英寸(1英寸=2.54 cm)单晶金刚石晶圆。这一重大突破标志着征世科技在单晶金刚石领域的技术已达到国际先进水平,为未来宽禁带半导体、功率器件、量子计算等领域的应用开辟了广阔前景。
具体参数:
尺寸:2英寸
厚度:0.3~3.0 mm
热导率:1800~2200 W/(m·K)
偏离角:(100)面偏角3°左右
氮浓度:0.2×10-6以下
2英寸单晶金刚石晶圆实物图
单晶金刚石,被誉为“终极半导体材料”,是制造下一代高性能电子器件的理想材料。然而,由于单晶金刚石生长条件苛刻、技术难度大,大尺寸、高质量单晶金刚石晶圆的制备一直是国际性难题。
征世科技凭借多年的技术积累和创新精神,成功攻克了单晶金刚石晶圆制备过程中的多项关键技术难题,实现了2英寸单晶金刚石晶圆的自主可控生产。是征世科技发展历程中的重要里程碑,不仅打破了国外技术垄断,也为我国宽禁带半导体产业的发展提供了强有力的材料支撑。该产品具有晶体质量高、缺陷密度低、表面粗糙度小等优点,各项性能指标均达到国际先进水平。
2英寸单晶金刚石晶圆的紫外-可见光谱图(a)和傅里叶红外光谱图(b)
上海征世科技股份有限公司
上海征世科技股份有限公司是一家集研发、生产、销售为一体的跨国高新技术企业。科学家团队于2002年开启了CVD技术研发之路。征世科技拥有专业的研发团队,持续探索运用创新方法和技术,已申请专利百余项,并通过ISO9001质量管理体系认证。拥有先进的核心生产技术“MPCVD法”,是全球实现直接生长高品质CVD钻石的领军企业。
征世科技深耕MPCVD法,拥有国际领先的研发生产能力。征世科技的CVD钻石高净高色、更大克拉,纯自然生长,无需改色处理。广泛应用于珠宝首饰及工业散热、半导体、高端电子、汽车自动驾驶等科技领域。