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通过化学汽相淀积生产碳化硅的方法和装置

名称通过化学汽相淀积生产碳化硅的方法和装置公开号1166540公开日1997.12.03主分类号C30B25/00&

日期 2010-12-23 行业专利

化学汽相淀积 / 碳化硅 / 装置

为接受化学汽相淀积金刚石膜对硬质合金基质的处理

名称为接受化学汽相淀积金刚石膜对硬质合金基质的处理公开号1192789公开日1998.09.09主分类号C25F3/

日期 2010-12-10 行业专利

化学汽相淀积 / 金刚石膜 / 硬质合金 / 处理

汽相淀积金刚石的方法及装置

名称汽相淀积金刚石的方法及装置公开号1060316公开日1992.04.15主分类号C23C16/26

日期 2010-12-09 行业专利

汽相淀积 / 金刚石 / 方法 / 装置

汽相淀积金刚石的方法及装置

名称汽相淀积金刚石的方法及装置公开号88101737公开日1988.10.26主分类号C23C16/26

日期 2010-12-09 行业专利

汽相淀积 / 金刚石 / 方法 / 装置

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