汽相淀积金刚石的方法及装置 _专利

汽相淀积金刚石的方法及装置

关键词汽相淀积 , 金刚石 , 方法 , 装置 |2010-12-09 00:00:00|行业专利|来源中国超硬材料网

摘要名称汽相淀积金刚石的方法及装置公开号88101737公开日1988.10.26主分类号C23C16/26

名称	汽相淀积金刚石的方法及装置
公开号	88101737	公开日	1988.10.26
主分类号	C23C16/26	分类号	C23C16/26;C23C16/50
申请号	88101737
分案原申请号		申请日	1988.04.02
颁证日		优先权
申请人	富士通株式会社	地址	日本国神奈川县
发明人	栗原和明; 佐佐木谦一; 河原田元信; 越野长明	国际申请
国际公布		进入国家日期
专利代理机构	中国国际贸易促进委员会专利代理部	代理人	陈季壮
摘要	汽相淀积金则石的方法：$在热等离子体化学汽相淀积装置的阴阳极之间通入放电气的同时进行电弧放电；$通过向形成的等离子流中加入气态碳化物使气态碳化合物自由基化；以及$使所述的自由基化的等离子流碰撞待处理的基片，从而在所述基片上形成一层金刚石膜。

① 凡本网注明"来源：超硬材料网"的所有作品，均为河南远发信息技术有限公司合法拥有版权或有权使用的作品，未经本网授权不得转载、摘编或利用其它方式使用上述作品。已经本网授权使用作品的，应在授权范围内使用，并注明"来源：超硬材料网"。违反上述声明者，本网将追究其相关法律责任。

② 凡本网注明"来源：XXX（非超硬材料网）"的作品，均转载自其它媒体，转载目的在于传递更多信息，并不代表本网赞同其观点和对其真实性负责。

③ 如因作品内容、版权和其它问题需要同本网联系的，请在30日内进行。

※ 联系电话：0371-67667020