2025年3月18日,在昆仑山与塔克拉玛干沙漠交汇的新疆和田地区皮山县,一场关乎我国西部高端材料自主化的产业变革正式启幕。新疆碳基芯材科技有限公司总投资超20亿元的年产150万克拉金刚石项目签约落地,以“硬科技+绿动能”双轮驱动,剑指国内高端工业金刚石35%市场份额,年产值预计突破12亿元。
技术亮点:MPCVD-Ⅲ型系统实现“5倍速”突破
据行业内部消息,该项目采用全球领先的MPCVD-Ⅲ型智能沉积系统,单炉生长速率高达30μm/h,较传统工艺提升5倍。这一技术突破直接指向电子级金刚石的核心痛点——生长效率与纯度。目前,项目一期规划建设20台工业级沉积设备,年产50万克拉纯度达99.999%(5N级)的电子级金刚石,并重点攻关8英寸单晶衬底技术,为半导体领域提供“终极衬底”材料。
三阶段布局:从芯片到量子传感
一期攻坚半导体基础材料:以8英寸单晶衬底为突破口,直指第三代半导体材料升级需求,填补国内大尺寸高纯金刚石衬底空白。
二期进军量子科技:开发金刚石量子传感器,应用于北斗导航芯片抗辐射封装。金刚石中氮空位(NV色心)的量子特性,可大幅提升导航系统在极端环境下的稳定性。
三期联合中科院破局功率器件:建设金刚石基GaN功率器件中试线,解决5G基站、新能源汽车等领域的高频高压器件散热难题,推动国产功率半导体弯道超车。
国内金刚石半导体主要进展
2英寸异质外延单晶金刚石实现国产化量产
西安交通大学王宏兴教授团队通过自主研发的 MPCVD(微波等离子体化学气相沉积)技术,成功实现 2英寸异质外延单晶金刚石自支撑衬底 的批量化生产。
(111)晶面金刚石外延技术突破
王宏兴团队进一步在 Ir(111)/蓝宝石异质衬底 上实现了 1英寸(111)取向单晶金刚石 的外延生长。通过SEM、XRD等表征验证其晶体质量,为金刚石基GaN功率器件的研发奠定了基础,未来可推动射频器件性能提升40%以上。
多晶金刚石商业化应用加速
河南黄河旋风公司宣布成功研发出CVD多晶金刚石热沉片。该产品的直径为2英寸,厚度范围在0.3至1毫米之间。黄河旋风与厦门大学萨本栋微米纳米科学技术研究院成立集成电路热控联合实验室,针对5G/6G、AI以及相控阵雷达领域芯片散热难题,开展基于金刚石材料的集成散热应用的创新研究。
柔性超薄金刚石薄膜技术突破
北京大学联合南方科技大学和香港大学,成功开发开发出大面积(2英寸晶圆)、超薄(亚微米厚度)、超平整(表面粗糙度低于纳米)、超柔性(可360°弯曲)的金刚石薄膜,这一创新成果不仅在材料科学领域具有里程碑意义,也为金刚石薄膜的商业化应用铺平了道路。
市场前景:国产替代按下加速键
项目全面建成后,预计占据国内高端工业金刚石35%市场份额,年产值突破12亿元。其99.999%纯度产品将覆盖量子计算、超精密加工、高能激光器等战略领域,直接冲击美日企业主导的全球高端市场。值得关注的是,新疆哈密已有企业通过先进工艺试产高品质工业金刚石,并与油气钻探、航天航空等本地产业形成协同效应,而河南商丘、郑州等地也在加速培育钻石和功能性金刚石产能布局,中国“金刚石产业带”雏形初现。
从河南“世界金刚石工厂”到新疆、江苏的技术升级项目,中国正以“技术+产能”双轮驱动重塑超硬材料全球版图。四方达等企业通过70万克拉功能性金刚石产线调试,已在高品质CVD金刚石领域建立先发优势。若此次150万克拉项目顺利落地,将加速实现《“十四五”新材料产业发展规划》中“电子级金刚石自主保障”目标,为芯片、量子科技等“卡脖子”领域提供底层材料支撑。
未来,通过异质外延技术创新、 三维集成散热方案及政策驱动产业链协同,中国有望在第三代半导体材料升级中占据先机,逐步填补大尺寸高纯金刚石衬底空白。