申请号:201310538756
申请人:昆山宏凌电子有限公司
摘要:一种电子产品的基片研磨剂,其是一种碱性的亲水半透明液体,其采用去离子水并含有:高纯硅粉粒子和单晶金刚石粒子的混合物;2~5%的脂肪醇聚氧乙烯醚硫酸钠;2%的铜缓蚀剂巯基苯骈噻唑MBT;其pH值为9~12,该研磨剂适用各种电子产品的基片研磨和抛光处理,对电子产品的污染小,研磨光亮平整,使用安全环保。
独立权利要求:1.一种电子产品的基片研磨剂,其特征在于:所述研磨剂是一种碱性的亲水半透明液体,所述液体的溶剂是去离子水,且其中含有:1)高纯硅粉粒子和单晶金刚石粒子的混合物;2)2~5%的脂肪醇聚氧乙烯醚硫酸钠;3)2%的铜缓蚀剂巯基苯骈噻唑MBT;4)所述研磨剂的pH值为9~12。
2.如权利要求1所述的基片研磨剂,其特征在于:所述粒子混合物的含量为30%。
3.如权利要求1所述的基片研磨剂,其特征在于:所述碱性的亲水半透明液体采用NaOH或KOH调节所得。
4.如权利要求1所述的基片研磨剂,其特征在于:其内所含Cu和Fe的浓度小于30ppm。
5.如权利要求1所述的基片研磨剂,其特征在于:高纯的硅粉粒子和单晶金刚石粒子的混合物的质量比为1:2。