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半导体精密薄片金刚石砂线切割液及其制备方法

关键词 金刚石砂线切割液 , 超硬材料|2012-08-22 10:32:23|行业专利|来源 中国超硬材料网
摘要 名称半导体精密薄片金刚石砂线切割液及其制备方法申请号201210045299申请日2012年2月27日公开号102618376A公开

 

名称 半导体精密薄片金刚石砂线切割液及其制备方法
申请号 201210045299 申请日 2012年2月27日
公开号 102618376A 公开日 2012年8月1日
代理机构 常州市维益专利事务所( 32211 ) 代理人 贾海芬
申请人 常州君合科技有限公司 地址 江苏省常州市新北区通江大道396号时代商务广场5号楼中创大厦20楼
发明人 陆由东 郑虎祥 吴伟峰 蒋勇 主分类号  C10M 173/02
国家/省市 中国江苏( 32 ) 分类号 C10M 173/02 C10M 161/00 C10N 30/06 C10N 30/04 C10N 30/12 C10N 40/00
摘要   本发明涉及一种半导体精密薄片金刚石砂线切割液,其原料由如下质量份数比的组分组成,包括30-80的多元醇、0.01-0.5的氢气抑制剂、0.01-0.5的酸、0.1-1.0的表面活性剂、1.0-10.0的分散剂、0.01-0.5的防腐剂和10-35去离子水;其中:本发明的多元醇为丙二醇与聚乙二醇以1~1∶2的混合物,且聚乙二醇的分子量在100~600之间。本发明具有效抑制氢气产生,润滑作用明显,易于清洗,成本低,性能稳定的特点。
独立权利要求 1.一种半导体精密薄片金刚石砂线切割液,其特征在于:其原料由如下质量份数比的组分组成,包括其中:所述的多元醇为丙二醇与聚乙二醇以1~1∶2的混合物,且聚乙二醇的分子量在100~600之间。

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