名称 | 半导体精密薄片金刚石砂线切割液及其制备方法 | ||
申请号 | 201210045299 | 申请日 | 2012年2月27日 |
公开号 | 102618376A | 公开日 | 2012年8月1日 |
代理机构 | 常州市维益专利事务所( 32211 ) | 代理人 | 贾海芬 |
申请人 | 常州君合科技有限公司 | 地址 | 江苏省常州市新北区通江大道396号时代商务广场5号楼中创大厦20楼 |
发明人 | 陆由东 郑虎祥 吴伟峰 蒋勇 | 主分类号 | C10M 173/02 |
国家/省市 | 中国江苏( 32 ) | 分类号 | C10M 173/02 C10M 161/00 C10N 30/06 C10N 30/04 C10N 30/12 C10N 40/00 |
摘要 | 本发明涉及一种半导体精密薄片金刚石砂线切割液,其原料由如下质量份数比的组分组成,包括30-80的多元醇、0.01-0.5的氢气抑制剂、0.01-0.5的酸、0.1-1.0的表面活性剂、1.0-10.0的分散剂、0.01-0.5的防腐剂和10-35去离子水;其中:本发明的多元醇为丙二醇与聚乙二醇以1~1∶2的混合物,且聚乙二醇的分子量在100~600之间。本发明具有效抑制氢气产生,润滑作用明显,易于清洗,成本低,性能稳定的特点。 | ||
独立权利要求 | 1.一种半导体精密薄片金刚石砂线切割液,其特征在于:其原料由如下质量份数比的组分组成,包括其中:所述的多元醇为丙二醇与聚乙二醇以1~1∶2的混合物,且聚乙二醇的分子量在100~600之间。 |
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