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carborntech2019

第四届国际碳材料大会暨产业展览会

2019年11月26-29日·上海跨国采购会展中心

规模

160+展商|5000+行业代表|30000+观众

Iplas Innovative Plasma Systems GmbH 

与您相约Carbontech 2019

展位号：D030

iplas是德国一家专注于基于独特的CYRANNUS®等离子源的高产率金刚石CVD设备的公司和团队。于1997年由-Ing. Hildegard Sung-Spitzl博士和Dr. Ralf Spitzl. 博士创立。公司的长期战略是高度关注客户应用的生产率。此类最高技术解决方案的基础是开放和可信赖的合作关系，这些客户始终受到最大程度的机密性保护。公司致力于为企业的CVD金刚石从研究到工厂投产的各个方面提供帮助。

产品系列

1. CYRANNUS®CVD系统

（1）用于钻石和其他产品的微波激发等离子体CVD系统

（2）从小单位到全工厂的生产系统

（3）针对高端应用和创新的定制研发系统

2. 服务

（1）工厂交付

（2）流程指导

（3）生产培训中心

（4）实验室租赁

3. 材料

（1）样品生产

（2）种子材料

性能

1. 反应器类型

（1）频率：915MHz；功率：5-100kW（根据不同应用）；适用于大规模和气体化学反应，典型沉积范围：Ø150-300mm

（2）2.45GHz，功率：可根据要求和应用提供6kW或更高的功率，典型沉积范围：Ø50-100mm

（4）其他：5.8GHz或9.4GHz

2. 特点：

（1）最佳场密度与沉积面积(效率)的关系

（2）基板的原位z操纵

（3）原位偏置

3. 操作模式

（1）具有工厂控制的自动化系统

（2）用于小规模生产和研发的半自动化系统

金刚石

所有CYRANNUS®系统的所有类型……

（1）单晶生长（同质外延，异质外延，电子级等）

（2）微晶膜（从微米级到纳米级；高度取向）

（3）纳米/超纳米晶金刚石膜

（4）石墨烯，碳纳米壁等

其他应用

iplas等离子工艺涵盖了独特的不同应用范围，以下仅为CYRANNUS®技术在金刚石方面的能力：

（1）大小可控制的大量纳米粒子

（2）等离子风洞，用于太空船再入模拟

（3）各种化合物的等离子化学

（4）用于生物相容性或蚀刻的超快饱和表面处理

方法

iplas在德国拥有超过20年的研发经验，拥有全面的流程和应用知识。我们的解决方案不只是一组技术特性，它们是针对具体实际需求的特定解决方案。

（1）专注于业务和技术→优化商业解决方案

（2）完全同步的技术，同时执行

-CVD工艺知识→提高产量

-最高的自动化水平→可靠性和控制性

-德国工程→值得信赖的坚固性和耐用性

iplas常务董事Dr.-Ing. Hildegard Sung-Spitzl将出席Carbontech 2019——5G时代金刚石的创新应用论坛，并做相关报告。

Dr.-Ing. Hildegard Sung-Spitzl

Dr.Sung-Spitzl, 德国亚琛工业大学的物理和机械工程师。曾在顶级管理咨询公司工作，几年之后，在德国成立了iplas GmbH公司，专注于高度集成的等离子技术。

报告题目及摘要

题目

Integrated CVD technology projects combine faster business performance and higher yield

摘要

The talk gives an introduction how to start a commercial CVD production at very high speed. Concepts of industry 4.0 are valued as technology solutions for the next decade regarding reliability, sustainability and stable growth. Basing on long internal research and strategic development, today iplas provides integrated business solutions with the shortest time to market for all customers. The innovative approach enables a highly competitive market position even without long term in-house CVD experience.

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