名称 | 碳化硅纤维生产中的尾气回收方法及装置 | ||
公开号 | 1146503 | 公开日 | 1997.04.02 |
主分类号 | C30B25/00 | 分类号 | C30B25/00;C30B29/36;C30B29/62;B01D53/34;B01D5/00 |
申请号 | 95115643.8 | ||
分案原申请号 | 申请日 | 1995.09.29 | |
颁证日 | 优先权 | ||
申请人 | 中国科学院山西煤炭化学研究所 | 地址 | 030001山西省太原市165信箱 |
发明人 | 张蓬洲; 任兆鑫; 宋丽萍; 温月芳 | 国际申请 | |
国际公布 | 进入国家日期 | ||
专利代理机构 | 中国科学院山西专利事务所 | 代理人 | 卫凌秋; 魏树巍 |
摘要 | 本发明提供一种碳化硅纤维生产尾气的回收方法及装置,是将尾气通过-40~-80℃的冷凝装置冷凝,分离CH#-[3]SiCl#-[3]、CH#-[3]SiHCl#-[2]及高沸点物质,然后将不能被冷凝的HCl、H#-[2]等物质送入含10%碱液的吸收塔,除去HCl,H#-[2]送入净化器净化,被冷凝分离出的硅烷,经过精密蒸馏除去高沸点物质后再使用。由本发明回收的CH#-[3]SiCl#-[3]和CH#-[3]SiHCl#-[2]占尾气总量的95%,再利用率为65%。经本发明尾气回收后的环境检测达到国家标准。 |