碳化硅纤维高频热反应装置 _专利

碳化硅纤维高频热反应装置

关键词碳化硅纤维 , 高频热反应装置 |2010-12-22 00:00:00|行业专利|来源中国超硬材料网

摘要名称碳化硅纤维高频热反应装置公开号1071398公开日1993.04.28主分类号C03B37/09

名称	碳化硅纤维高频热反应装置
公开号	1071398	公开日	1993.04.28
主分类号	C03B37/09	分类号	C03B37/09
申请号	91109267.6
分案原申请号		申请日	1991.10.05
颁证日		优先权
申请人	石家庄市电子加工技术研究所	地址	050091河北省石家庄市红旗大街81号
发明人	陈新谋; 王敬霞	国际申请
国际公布		进入国家日期
专利代理机构	河北省专利事务所	代理人	王苑祥
摘要	本发明涉及到一种利用气相沉积法制造碳化硅纤维的专用装置。本发明利用高频无接触式加热系统取代了传统的直流加热系统，装置中包括收、放丝机构，可导入反应气体的石英热反应器和高频加热系统三部分组成。高频加热系统中由射频发生器产生高能量射频电波，通过同轴传输电缆直联至同轴型反相激励式对称耦合腔，套装在石英热反应器上，在射频电流激励下，在耦合腔之间形成轴向匀强电磁场实现对载体丝加热，并完成反应气体分解并以ＳｉＣ形式沉积的过程。

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