一种化学气相沉积碳化硅纤维的反应器_专利

一种化学气相沉积碳化硅纤维的反应器

关键词反应器|2010-12-24 00:00:00|行业专利|来源中国超硬材料网

摘要名称一种化学气相沉积碳化硅纤维的反应器公开号2283068公开日1998.06.03主分类号C23C16/30

名称	一种化学气相沉积碳化硅纤维的反应器
公开号	2283068	公开日	1998.06.03
主分类号	C23C16/30	分类号	C23C16/30
申请号	96239186.7
分案原申请号		申请日	1996.11.25
颁证日	1998.04.23	优先权
申请人	中国科学院金属研究所	地址	110015辽宁省沈阳市沈河区文化路72号
发明人	石南林	国际申请
国际公布		进入国家日期
专利代理机构	中国科学院沈阳专利事务所	代理人	张晨
摘要	一种化学气相沉积碳化硅纤维的反应器，由上下封头和反应室三部分组成，其特征在于：在上下封头中分别增设２～６孔的多孔毛细管，相互同心呈直线关系，并与反应室轴线呈对称分布。本实用新型可在原有的化学气相沉积反应条件不变情况下，同时沉积两根以上碳化硅纤维，从而大大提高生产效率。