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金刚石线锯切割单晶硅表面缺陷与锯丝磨损分析

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黄波1,2高玉飞1,2葛培琪1,21.山东大学机械工程学院2.高效洁净机械制造教育部重点实验室摘要:采用电镀金刚石线锯对单晶硅进行了锯切实验,使用扫描电子显微镜对单晶硅...

日期 2012-04-24   技术信息
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