金刚石红外增透滤光窗口及其制备方法 _专利

金刚石红外增透滤光窗口及其制备方法

关键词金刚石红外增透滤光窗口 , 制备方法 |2010-12-10 00:00:00|行业专利|来源中国超硬材料网

摘要名称金刚石红外增透滤光窗口及其制备方法公开号1191243公开日1998.08.26主分类号C23C16/26&nb

名称	金刚石红外增透滤光窗口及其制备方法
公开号	1191243	公开日	1998.08.26
主分类号	C23C16/26	分类号	C23C16/26
申请号	97125204.1
分案原申请号		申请日	1997.12.26
颁证日		优先权
申请人	复旦大学; 宝山钢铁(集团)公司	地址	200433上海市邯郸路220号
发明人	应萱同; 王小宝	国际申请
国际公布		进入国家日期
专利代理机构	复旦大学专利事务所	代理人	姚静芳
摘要	本发明是一种金刚石红外增透滤光窗口及其制备方法。目前金刚石薄膜窗口透光波段的研究及应用局限在２．５—２５μｍ范围，使用中受到限制。本发明用电子束辅助热灯丝化学气相沉积方法；两步法高密度成核金刚石优化生长工艺；多光束干涉法薄膜厚度监控，克服了光在近红外波段的散射问题，研制成功具有光学镜面级表面的金刚石薄膜，制得的窗口用于近红外（１．１—１．８μ）探测器，灵敏可靠，抗高温，抗腐蚀，抗水，抗尘，坚硬耐磨，维护方便。

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