超硬材料网

　　申请号：201310731810

　　申请人：中国有色桂林矿产地质研究院有限公司

　　摘要：本发明公开了一种单晶硅棒截断金刚石线锯装置，包括切断单晶硅棒的金刚石线锯，所述金刚石线锯包括两条以上的环形金刚石锯丝，各条环形金刚石锯丝分别由不同的导轮组张紧而形成两个以上的切割面，各切割面相互平行且之间的距离可调节；各条环形金刚石锯丝对单晶硅棒的切割段处于与单晶硅棒轴线平行的同一平面上；所述切割段两端的环形金刚石锯丝上设有导向轮。本发明采用多条平行的环形金刚石锯丝同时将单晶硅棒截断多段，充分有效利用环形金刚石锯丝单方向、无惯性力、高速运动的特性，相比金刚石单线锯可提高加工效率3倍～5倍。

　　独立权利要求：1.单晶硅棒截断金刚石线锯装置，包括切断单晶硅棒（4）的金刚石线锯，其特征在于：所述金刚石线锯包括两条以上的环形金刚石锯丝（1），各条环形金刚石锯丝（1）分别由不同的导轮组张紧而形成两个以上的切割面，各切割面相互平行且之间的距离可调节。

　　2.根据权利要求1所述的单晶硅棒截断金刚石线锯装置，其特征在于：各条环形金刚石锯丝（1）对单晶硅棒（4）的切割段处于与单晶硅棒（4）轴线平行的同一平面上。

　　3.根据权利要求2所述的单晶硅棒截断金刚石线锯装置，其特征在于：所述切割段两端的环形金刚石锯丝（1）上设有导向轮（3）。

　　4.根据权利要求1～3中任意一项所述的单晶硅棒截断金刚石线锯装置，其特征在于：各导轮组中导轮（2）的个数为2个、或为3个、或为4个。

　　5.根据权利要求4所述的单晶硅棒截断金刚石线锯装置，其特征在于：所述导轮（2）中包括一个主动轮和一个张紧轮。