摘要 名称碳化硅质材料热处理用夹具公开号1376647公开日2002.10.30主分类号C04B35/56
名称 | 碳化硅质材料热处理用夹具 | ||
公开号 | 1376647 | 公开日 | 2002.10.30 |
主分类号 | C04B35/56 | 分类号 | C04B35/56;C01B31/36 |
申请号 | 02108008.9 | ||
分案原申请号 | 申请日 | 2002.03.22 | |
颁证日 | 优先权 | 2001.3.22__JP_2001-082030 | |
申请人 | 日本碍子株式会社;NGK阿德列克株式会社 | 地址 | 日本爱知县 |
发明人 | 木下寿治 | 国际申请 | |
国际公布 | 进入国家日期 | ||
专利代理机构 | 北京银龙专利代理有限公司 | 代理人 | 刘克宽 |
摘要 | 本发明提供了一种热处理用夹具,可以控制夹具自体随时间变形及因弯曲使热处理中的玻璃基板的变形,在具有稳定性和适宜的刚性的同时,具有可在比较短时间内高效率地进行玻璃基板的均匀热处理的优良热传导性,改善了更大型玻璃基板的载置或卸出时的操作性。玻璃基板在进行热处理时,为载置该玻璃基板而使用的板状热处理用夹具。该夹具的主相由碳化硅构成,在其表面设置有凹凸形状,表面的算术平均粗糙度Ra 为0.01-200m,凹凸的平均间隔Sm与Ra的比(Sm/Ra)为500以下。 |