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微波CVD金刚石薄膜用作LED散热片的制备

微波CVD金刚石薄膜用作LED散热片的制备
微波CVD金刚石薄膜用作LED散热片的制备
微波CVD金刚石薄膜用作LED散热片的制备

摘要由于金刚石具有室温下最高的热导率,因此用化学气相沉积(CVD)制备的金刚石膜是大功率发光二极管理想的散热材料。本文利用微波等离子体CVD研究了不同沉积工艺下金刚石薄...

日期 2011-07-20   技术信息
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