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离子束辅助气相沉积法在曲面衬底沉积CBN薄膜的厚度分布模拟

离子束辅助气相沉积法在曲面衬底沉积CBN薄膜的厚度分布模拟
离子束辅助气相沉积法在曲面衬底沉积CBN薄膜的厚度分布模拟
离子束辅助气相沉积法在曲面衬底沉积CBN薄膜的厚度分布模拟

摘要:本研究利用离子束辅助气相沉积法(IBAD)对曲面衬底上沉积出的立方氮化硼(CBN)薄膜厚度分布进行模拟。沉积参数条件如下:(i)硼到达率为3.2Å/s,(ii)离...

日期 2017-06-01   技术信息
曲面衬底沉积CBN薄膜的厚度分布模拟

曲面衬底沉积CBN薄膜的厚度分布模拟

作者:T.Kobayashi,R.Valizadeh,J.S.Colligon,H.Kanematsu,K.Mo...

日期 2015-12-22   技术信息
  共 2 条记录

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