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离子束辅助气相沉积法在曲面衬底沉积CBN薄膜的厚度分布模拟

离子束辅助气相沉积法在曲面衬底沉积CBN薄膜的厚度分布模拟
离子束辅助气相沉积法在曲面衬底沉积CBN薄膜的厚度分布模拟
离子束辅助气相沉积法在曲面衬底沉积CBN薄膜的厚度分布模拟

摘要:本研究利用离子束辅助气相沉积法(IBAD)对曲面衬底上沉积出的立方氮化硼(CBN)薄膜厚度分布进行模拟。沉积参数条件如下:(i)硼到达率为3.2Å/s,(ii)离...

日期 2017-06-01   技术信息

基于离子束技术提高抛光光学玻璃的金刚石砂轮棒寿命的方法及设备

申请号:201610003381.8申请人:北京师范大学发明人:廖斌欧阳晓平罗军张旭吴先映王宇东摘要:本发明公开了一种基于离子束技术提高抛光光学玻璃的金刚石砂轮棒寿命方...

日期 2016-08-10   行业专利
采用聚焦离子束技术可制备纳米金刚石

采用聚焦离子束技术可制备纳米金刚石

无论是扫描电子显微镜(SEM),还是透射电子显微镜(TEM),都是以电子束为光源。但在这篇报道中,聚焦离子束(F...

日期 2016-07-20   超硬新闻

反应离子束刻蚀金刚石薄膜图形工艺

名称反应离子束刻蚀金刚石薄膜图形工艺公开号1224077公开日1999.07.28主分类号C23F1/02

日期 2010-12-10   行业专利

金刚石表面离子束改性

名称金刚石表面离子束改性公开号1079515公开日1993.12.15主分类号C23C14/18

日期 2010-12-09   行业专利

硅表面碳离子束沉积金刚石形核的研究

在用CVD方法在单晶硅上生长金刚石薄膜有着诱人的应用前景,目前存在的一个问题是如何提高金刚石的形核率。很多方法用来提高形核率,例如用细砂纸打磨硅表面,Si+轰击硅表面。...

日期 2005-07-08   超硬新闻
  共 6 条记录

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