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西安交大成功实现2英寸异质外延单晶金刚石衬底量产

西安交大成功实现2英寸异质外延单晶金刚石衬底量产
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西安交大成功实现2英寸异质外延单晶金刚石衬底量产

近日,由西安交通大学王宏兴教授领衔的创业团队在单晶金刚石衬底技术产业化上取得了重大进展和突破。该团队采用一种基于微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)技术实现了2英寸异...

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