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　　人造金刚石为二氧化碳激光器光学元件提供无与伦比的性能。它可承受高能量激光，能够实现颇具成本效益和高通量的极紫外光刻加工。
　　2013年2月4日，元素六公司在美国西部光电展（SPIE Photonics West 2013，元素六展位号4203）宣布其美国硅谷工厂已扩大了CVD金刚石光学窗口的规模化生产能力，该窗口产品被用作激光等离子体极端远紫外（EUV）光刻系统的核心组件。元素六美国工厂实现总产能增长50%，在CVD金刚石生产和加工方面取得新突破，这将进一步扩大公司的全球业务，以满足大尺寸光学窗口日益增长的市场需求。
　　“极紫外光刻技术代表了新一代半导体制造的重大技术进步，可实现22纳米以下（1x纳米，即十纳米级）的逻辑器件和存储器”，元素六technologies事业部经理Adrian Wilson介绍说，“我们相信元素六公司的人造金刚石光学窗口是传统光学材料的一种便捷替代品，也是唯一可实现商业化激光等离子体极紫外光刻的产品——它可以减少停机时间，提高晶圆加工能力”
　　为满足系统设计师最具挑战的应用需求，元素六针对高功率（20千瓦以上）二氧化碳激光器提供大尺寸（直径达71-80毫米）CVD金刚石窗口，并可根据需求提供更大尺寸窗口产品。基于其独特性质，人造金刚石是能够承受高通量极紫外光刻的唯一材料，可提高产能和成本效益。此外，元素六开发出业内最平坦的窗口材料（在633纳米波长情况下，表面平整度PV值小于波长的二十分之一），以实现更低波前畸变和更高系统效率。
　　为了确保系统的性能，元素六公司高质量人造金刚石窗口在缺陷控制上同样达到了极高的水准。总体来说，其专利CVD金刚石产品具有最宽的透光波段、目前已知的最高的热导率和抗热冲击能力——这些是实现极端紫外光刻等高端应用需求的核心指标。
　　随着全球制造商极紫外光刻能力的不断提升，元素六位于美国硅谷、英国阿斯科特以及荷兰克伊克的大规模生产工厂将确保公司可满足客户的各类需求。元素六拥有超过50年的技术积累和批量生产经验，向全球3,000多家客户提供极端性能的解决方案，在多个领域实现更高生产率、更低能耗以及前所未见的技术飞跃。