名称 | 金刚石复合涂层拉丝模制备方法 | ||
公开号 | 1327084 | 公开日 | 2001.12.19 |
主分类号 | C23C16/27 | 分类号 | C23C16/27;B21C3/02 |
申请号 | 01113027.X | ||
分案原申请号 | 申请日 | 2001.05.31 | |
颁证日 | 优先权 | ||
申请人 | 上海交通大学 | 地址 | 200030上海市华山路1954号 |
发明人 | 沈荷生;张志明;郭松寿 | 国际申请 | |
国际公布 | 进入国家日期 | ||
专利代理机构 | 上海交通大学专利事务所 | 代理人 | 毛翠莹 |
摘要 | 一种金刚石复合涂层拉丝模制备方法,以大孔径硬质合金拉丝模为衬底,经稀盐酸滴加双氧水腐蚀,清洗后用穿孔热丝CVD法首先沉积一层常规金刚石薄膜,然后降低反应气体压力,增加碳源体积浓度,并添加Ar气,原位继续沉积一层纳米金刚石膜组成复合涂层。本发明的复合涂层既具有常规涂层耐磨,附着力强的优点,又兼有纳米金刚石涂层表面光滑,摩擦系数小,易研磨抛光等特点,适用于各种金属材料的拉丝。 |