一种热丝法生长金刚石的方法 _专利

一种热丝法生长金刚石的方法

关键词热丝法 , 金刚石|2010-12-10 00:00:00|行业专利|来源中国超硬材料网

摘要名称一种热丝法生长金刚石的方法公开号1123847公开日1996.06.05主分类号C23C16/26

名称	一种热丝法生长金刚石的方法
公开号	1123847	公开日	1996.06.05
主分类号	C23C16/26	分类号	C23C16/26;C30B25/00
申请号	94118524.9
分案原申请号		申请日	1994.11.29
颁证日		优先权
申请人	中国科学院物理研究所	地址	100080北京市603信箱
发明人	陈岩; 林彰达	国际申请
国际公布		进入国家日期
专利代理机构	中国科学院专利事务所	代理人	高存秀
摘要	本发明属于化学汽相沉积技术，特别是涉及采用热丝法汽相沉积大面积金刚石膜的方法。本发明为了有效地利用真空室，节省电耗及气体有效的生长大面积金刚石膜，从而提供一种由一根或多根Ｗ钨丝竖直悬挂在反应室顶，待沉积基材相对于Ｗ丝竖直悬挂在Ｗ钨丝周围的排列方式，通入反应介质，汽相沉积生长金刚石膜的方法。该方法可把沉积效率提高１—４倍减少电耗和反应介质，降低反应成本。

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