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申请号: 201720410287.4

申请日: 2017.04.19

国家/省市:中国广东(44)

主分类号:C23C 16/27(2006.01)

授权公告号:206635412U

授权公告日:2017.11.14

分类号: C23C 16/27(2006.01)

申请人: 惠州市戴尔蒙德科技有限公司

发明人: 唐杰; 单元磊; 罗俊旋; 黄强元; 董朝新

代理人: 许志勇

代理机构:北京国昊天诚知识产权代理有限公司(11315)

申请人地址:广东省惠州市仲恺高新区惠风七路7号公园壹号广场广东惠州大学生创业孵化基地1007、1008室

摘要： 本实用新型涉及化学气相沉积镀膜设备技术领域，尤其涉及一种热丝CVD金刚石涂层设备。本实用新型的热丝CVD金刚石涂层设备结构简单，制造成本低廉，加快企业的生产效率，降低企业的生产成本；并且，生成的金刚石涂层牢固，生成金刚石涂层快速，在刀具使用过程中，金刚石涂层不易脱落，生产的刀具质量一致性好。

主权利要求

1.一种热丝CVD金刚石涂层设备,其特征在于，包括：第一机壳；内置于所述第一机壳的第二机壳，所述第二机壳与所述第一机壳的顶部相连接，所述第二机壳与所述第一机壳之间形成冷却空间；设置于所述第一机壳及第二机壳顶部的第三机壳，所述第一机壳、第二机壳及第三机壳形成一密封的反应腔室，所述第三机壳具有至少一反应气体入口，所述至少一反应气体入口连通所述反应腔室；设置于所述反应腔室的水冷基台，所述水冷基台包括：第一工作平台及第二工作平台，所述第一工作平台及第二工作平台的顶部相连接，所述第一工作平台及第二工作平台间具有一夹角A；设置于所述反应腔室的发热装置，所述发热装置位于所述水冷基台的上方，所述发热装置包括：两组接线柱、发热丝组及连接机构，所述两组接线柱设置于所述反应腔室，并分别位于所述水冷基台的两侧，所述两组接线柱分别连接直流电源的正极及负极，所述发热丝组的两端分别连接所述两组接线柱，所述连接机构设置于所述反应腔室，并位于所述两组接线柱间，所述连接机构分隔所述发热丝组成第一部分及第二部分，所述第一部分及第二部分分别平行所述第一工作平台及第二工作平台；以及位于所述第一机壳一侧的冷水机，所述冷水机的进口分别连接所述冷却空间及水冷基台，所述冷水机的出口分别连接所述冷却空间及水冷基台。